| 发明名称 |
A METHOD OF MODIFYING A SURFACE OF A BODY USING ELECTROMAGNETIC RADIATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2211210(A) |
申请公布日期 |
1989.06.28 |
| 申请号 |
GB19870024318 |
申请日期 |
1987.10.16 |
| 申请人 |
* PHILIPS ELECTRONIC AND ASSOCIATED INDUSTRIES LIMITED |
发明人 |
PETER JAMES * DOBSON;JAMES HAMILTON * NEAVE |
| 分类号 |
H01L21/203;B01J19/08;C23C16/48;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/268 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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