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发明名称
FORMATION OF OHMIC ELECTRODE AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH01164028(A)
申请公布日期
1989.06.28
申请号
JP19870321592
申请日期
1987.12.21
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
YAMANE YASUAKI;HIRAYAMA MASAHIRO
分类号
H01L21/28
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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