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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01164035(A)
申请公布日期
1989.06.28
申请号
JP19870323500
申请日期
1987.12.21
申请人
NEC CORP
发明人
HANEDA HISASHI
分类号
B65H3/14;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/677;H01L21/68
主分类号
B65H3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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