发明名称 |
MEMBRANE FORMATION METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH01163918(A) |
申请公布日期 |
1989.06.28 |
申请号 |
JP19870322023 |
申请日期 |
1987.12.18 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KAWAGOE YASUYUKI;TSUKASAKI TAKASHI |
分类号 |
C23C14/08;C01G1/00;C01G3/00;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/08 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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