发明名称 METHOD OF COATING COPPER CONDUCTORS ON POLYIMIDE.
摘要 Un module, qui sert à relier entre eux des circuits intégrés se compose d'un substrat (10), d'une couche de polyimide (11) disposée sur le substrat et de plusieurs conducteurs en cuivre espacés (12) placés dans la couche de polyimide. Ce module est plongé dans une solution de chlorure de palladium, ensuite dans une solution d'hydroxyde de sodium, puis dans un bain électrolytique sans courant pour cobalt. En conséquence, une pellicule de cobalt (14) se dépose sur toutes les surfaces exposées des conducteurs en cuivre, mais aucun dépôt de cobalt ne se produit sur la surface de polyimide exposée entre les conducteurs. Cette pellicule de cobalt protège les conducteurs en cuivre de la corrosion et ne provoque aucun court-circuit entre les conducteurs.
申请公布号 EP0321514(A1) 申请公布日期 1989.06.28
申请号 EP19880904895 申请日期 1988.05.23
申请人 UNISYS CORPORATION 发明人 ZELLER, FAITH, MARIE
分类号 C23C18/16;C23C18/18;C23C18/30;C23C18/31;C23C18/34;H01B13/00;H01B13/16;H01L21/48;H05K3/18;H05K3/24 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
主权项
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