| 发明名称 |
REFLECTION TYPE SURFACE INSPECTION INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01163643(A) |
申请公布日期 |
1989.06.27 |
| 申请号 |
JP19870321446 |
申请日期 |
1987.12.21 |
| 申请人 |
ASAHI ENG CO LTD |
发明人 |
YOSHIDA TAKESHI;KAI MASAMITSU;TAKAYAMA SHIGEYUKI |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/952 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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