PROCEDE DE PRODUCTION D'HYDRURES DE SILICIUM, APPLICATION ET APPAREIL DE MISE EN OEUVRE

摘要

L'invention concerne la production d'hydrures de silicium par hydrolyse acide d'alliages ternaires du silicium. Selon le procédé on fait réagir un alliage ternaire industriel de formule M? M? Siz, dans laquelle M1 est un métal réducteur, M2 un alcalin ou alcalinoterreux avec un acide dilué choisi parmi les hydracides et l'acide orthophosphorique, de concentration comprise entre 2N et 6N, en additionnant l'alliage ternaire sous forme de poudre fine sur l'acide, la réaction étant conduite entre l'ambiante et 90.degree.C. Les divers hydrures sont condensés, séparés par évaporation fractionnée sous vide partiel. Les hydrures de silicium; silane, disilane, et polysilanes supérieurs après épuration sont utilisables comme vecteurs de silicium suivant leur nature chimique notamment dans l'industrie des composants électroniques, des cellules photovoltaîques, tambours de photocopieurs et à l'opalisation des ampoules par voie sèche. La divulgation décrit aussi un appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé. Ce procédé a l'avantage d'être simple, d'utiliser des matières premières peu couteuses et produit des hydrures de silicium avec un rendement industriel.