发明名称 FRINGE SCAN TYPE PHASE INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH01161110(A) 申请公布日期 1989.06.23
申请号 JP19870319633 申请日期 1987.12.17
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 NOGUCHI TAKASHI;KUROSAWA TOSHIRO
分类号 G01B9/02;G01B11/24 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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