发明名称 APPAREIL POUR LE TRANSFERT HORIZONTAL DE PLAQUETTES DE SILICIUM NOTAMMENT
摘要 <P>L'appareil est remarquable en ce qu'il comprend une embase support 1 conformée avec des moyens aptes à assurer le centrage et le positionnement de deux paniers disposés en regard selon le même alignement axial, ladite embase étant équipée axialement d'un bras mobile 2 présentant un organe de transfert apte à coopérer simultanément avec la tranche de chacune des plaquettes pour assurer le transfert de la totalité des plaquettes d'un panier à l'autre panier, dans un plan horizontal.</P>
申请公布号 FR2624839(A1) 申请公布日期 1989.06.23
申请号 FR19870018454 申请日期 1987.12.22
申请人 RECIF SA 发明人 BERNARD POLI;GERARD CHINCHOLLE
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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