| 发明名称 |
LIQUID SILICONE IN LAMINAR SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU585646(B2) |
申请公布日期 |
1989.06.22 |
| 申请号 |
AU19860062795 |
申请日期 |
1986.09.18 |
| 申请人 |
HOXAN CORP. |
发明人 |
KEIHI SAWAYA;TAKEYUKI MATSUYAMA;ICHIRO HIDE;TAKASHI YOKOYAMA;YASUHIRO MAEDA |
| 分类号 |
C23C6/00;C23C8/02;C23C30/00;H01L21/18;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
C23C6/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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