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发明名称 MESSKOPF ZUR DURCHFUEHRUNG VON MIKROMECHANISCHEN MESSUNGEN AN OBERFLAECHEN VON PRUEFOBJEKTEN.
摘要
申请公布号 CH657704(A5) 申请公布日期 1986.09.15
申请号 CH19820000440 申请日期 1982.01.25
申请人 DR.-ING. KURT MARTIN OESTERLE 发明人 OESTERLE, KURT MARTIN, DR.-ING.
分类号 G01N3/00;G01N3/02;G01N3/42;(IPC1-7):G01N3/42 主分类号 G01N3/00
代理机构 代理人
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