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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01160041(A) 申请公布日期 1989.06.22
申请号 JP19870319446 申请日期 1987.12.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWAKITA TETSUO;HATADA KENZO
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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