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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH01159936(A) 申请公布日期 1989.06.22
申请号 JP19870316883 申请日期 1987.12.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 ISHIKAWA YASUSHI;TANAKA SHIGERU
分类号 H01J27/08;H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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