发明名称 METHOD FOR FABRICATING SELF-ALIGNED CONTACTS ON SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号 GB2211023(A) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 GB19880022366 申请日期 1988.09.22
申请人 * STANDARD MICROSYSTEMS CORPORATION 发明人 ROY * MO
分类号 H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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