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发明名称
METHOD FOR FABRICATING SELF-ALIGNED CONTACTS ON SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
GB2211023(A)
申请公布日期
1989.06.21
申请号
GB19880022366
申请日期
1988.09.22
申请人
* STANDARD MICROSYSTEMS CORPORATION
发明人
ROY * MO
分类号
H01L21/3205;H01L21/768
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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