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发明名称 METHOD AND MEASURING SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP0265816(A3) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 EP19870115355 申请日期 1987.10.20
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES LIMITED 发明人 NISHIGUCHI, MASANORI YOKOHAMA WORKS OF SUMITOMO;SOGAWA, ICHIRO OSAKA WORKS OF SUMITOMO;SUNAGO, KATSUYOSHI OSAKA WORKS OF SUMITOMO
分类号 G01L9/00;G01L9/06;(IPC1-7):G01L9/00 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
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