发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS TESTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01158753(A) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 JP19870318017 申请日期 1987.12.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKESHIMA TORU
分类号 H01L21/82;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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