发明名称 Process for obtaining aligned patterns on opposite sides of an opaque support.
摘要 <p>L'invention concerne un procédé d'obtention de motifs alignés entre eux sur deux faces opposées d'une plaque opaque 2. Pour ce faire, la plaque opaque (2) qui porte un motif de repérage (3) est collée sur une lame transparente (1) du côté dudit motif (3) et on reporte par photolithographie sur la lame (1) un motif d'alignement (8) aligné par rapport au motif de repérage (3). Ce motif d'alignement (8) est utilisé pour réaliser sur l'autre face de la plaque opaque (2) les motifs désirés (9) alignés par rapport au motif d'alignement (8).</p>
申请公布号 EP0321029(A1) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 EP19880202822 申请日期 1988.12.09
申请人 RTC-COMPELEC;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 GOIRAND, PIERRE SOCIETE CIVILE S.P.I.D.;SCHNEIDER, JACQUES SOCIETE CIVILE S.P.I.D.
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/30;H01L21/68 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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