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发明名称
SUBSTRATE STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号
EP0104765(B1)
申请公布日期
1989.06.21
申请号
EP19830304898
申请日期
1983.08.24
申请人
NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION
发明人
SAKUMA, KAZUHITO;ARITA, YOSHINOBU;SATO, MASAAKI;AWAYA, NOBUYOSHI
分类号
H01L21/762;H01L21/033
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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