发明名称 SUBSTRATE STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0104765(B1) 申请公布日期 1989.06.21
申请号 EP19830304898 申请日期 1983.08.24
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION 发明人 SAKUMA, KAZUHITO;ARITA, YOSHINOBU;SATO, MASAAKI;AWAYA, NOBUYOSHI
分类号 H01L21/762;H01L21/033 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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