发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01157531(A) 申请公布日期 1989.06.20
申请号 JP19870317812 申请日期 1987.12.14
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUJIWARA NOBUO
分类号 H01L21/31;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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