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经营范围
发明名称
FORMATION OF INTERCONNECTION PART OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH01157554(A)
申请公布日期
1989.06.20
申请号
JP19870315091
申请日期
1987.12.15
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ORITA TOSHIYUKI;HOUGEN HIROSHI
分类号
H01L21/3205
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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