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发明名称 PARALLEL SWEEP DEVICE FOR ELECTROSTATIC SWEEP TYPE ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH01157047(A) 申请公布日期 1989.06.20
申请号 JP19880150075 申请日期 1988.06.20
申请人 ULVAC CORP 发明人 TSUKAGOSHI OSAMU
分类号 H01L21/265;G21K1/087;H01J37/147;H01J37/317;H05H7/00 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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