发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH01157573(A) 申请公布日期 1989.06.20
申请号 JP19880009964 申请日期 1988.01.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FUKUNAGA MASANORI;GOORABU MAJIYUUMUDAARU
分类号 H01L27/02;H01L27/04;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/78;H02H5/04;H03K17/14 主分类号 H01L27/02
代理机构 代理人
主权项
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