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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01155630(A) 申请公布日期 1989.06.19
申请号 JP19870313995 申请日期 1987.12.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOKI MASAHIKO
分类号 H01L21/318 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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