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发明名称 FORMATION OF TRENCH OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01154522(A) 申请公布日期 1989.06.16
申请号 JP19870314743 申请日期 1987.12.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ARIMA YASUO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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