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发明名称
SOURCE DE VAPEUR POUR INSTALLATIONS DE REVETEMENT SOUS VIDE
摘要
申请公布号
FR2576918(B1)
申请公布日期
1989.06.16
申请号
FR19860001231
申请日期
1986.01.29
申请人
BALZERS AG
发明人
URS WEGMANN
分类号
C23C14/30;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/24
主分类号
C23C14/30
代理机构
代理人
主权项
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