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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR POTENTIAL MEASUREMENT BY ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH01153983(A) 申请公布日期 1989.06.16
申请号 JP19870313188 申请日期 1987.12.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMADA OSAMU
分类号 G01R19/00;G01R19/165;G01R31/28;G01R31/302;H01J37/28;H01L21/66 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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