| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01154210(A) |
申请公布日期 |
1989.06.16 |
| 申请号 |
JP19870311908 |
申请日期 |
1987.12.11 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TANAKA SATOSHI;OKADA YUTAKA;WASHIO KATSUYOSHI;WATABE TOMOYUKI |
| 分类号 |
G05F3/22;G05F3/26;H01L21/06;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/06;H03F3/34;H03F3/343;H03F3/347 |
主分类号 |
G05F3/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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