发明名称 PROCEDE D'ANALYSE EN TEMPS DE VOL, A BALAYAGE CONTINU, ET DISPOSITIF D'ANALYSE POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE
摘要 <P>L'invention concerne un procédé d'analyse en temps de vol, consistant à : - balayer d'une manière continue la surface d'un échantillon solide 3, par un faisceau de particules primaires 1 pour arracher à l'échantillon 3 des particules secondaires 4, et les ioniser; - constituer un faisceau de particules secondaires 4 et lui faire parcourir un chemin suffisamment long pour que des particules secondaires ayant des énergies différentes et/ou des masses différentes aient des temps de vol sensiblement différents; - discriminer ensuite les particules secondaires 4 en les déviant selon un angle variable périodiquement en fonction du temps, avec la même période que celle du balayage par le faisceau de particules primaires 1 mais avec un déphasage fixé tel que les particules secondaires 4 ayant un temps de vol donné soient déviées dans une direction prédéterminée oz, quel que soit le point de l'échantillon 3 où elles ont été arrachées; - sélectionner les particules secondaires 4 se déplaçant dans la direction prédéterminée oz.</P><P>Application aux appareils d'analyse.</P>
申请公布号 FR2624610(A1) 申请公布日期 1989.06.16
申请号 FR19870017288 申请日期 1987.12.11
申请人 CAMECA 发明人 HENRI MIGEON ET BERNARD RASSER;RASSER BERNARD
分类号 G01N23/22;H01J37/252;H01J49/40 主分类号 G01N23/22
代理机构 代理人
主权项
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