发明名称 CHEMISCHER REAKTOR FUER VLSI.
摘要
申请公布号 AT44117(T) 申请公布日期 1989.06.15
申请号 AT19850109202T 申请日期 1985.07.23
申请人 J.T. BAKER INC. 发明人 CADY, WAYNE A.
分类号 H01L21/306;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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