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Dans un détecteur de fuites à spectromètre de masse à hélium à contre-courant, un échantillon d'hélium passe à contre-courant à travers une pompe de diffusion (26) jusqu'à un spectromètre de mase (36) pour permettre la mesure. La pompe de diffusion (26) comprend une conduite de vide primaire traditionnelle (24) et une seconde conduite de vide primaire (32) pourvue d'un étage éjecteur (79). Un échantillon (8) est couplé, depuis un orifice d'essai (10) et à travers une vanne de dérivation (22), à la conduite de vide primaire traditionnelle (24) selon un mode à sensibilité élevée et est couplé à la seconde conduite de vide primaire (32) selon un mode à sensibilité faible. En mode à sensibilité faible, la vanne de dérivation (22) est fermée. Une plaque de régulation ajourée (84) située dans la pompe de diffusion (26) commande les vitesses de diffusion inverses relatives depuis chaque conduite de vide primaire (24, 32) vers l'entrée (38) de la pompe de diffusion, en commandant les vitesses d'un écoulement de vapeur en direction des étages de pompage annulaires (75, 77) et de l'étage éjecteur (79). L'étage éjecteur (79) comporte un ajutage (80) destiné à diriger un courant de vapeur dans la seconde conduite de vide primaire (32), afin d'empêcher l'écoulement d'hélium dans la pompe de diffusion (26) et afin d'établir une vitesse de diffusion inverse inférieure au niveau de la seconde conduite de vide primaire (32). La configuration décrite permet de mesurer une large gamme de vitesses de fuite. |
