| 发明名称 |
APPARATUS FOR PRODUCTION OF SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01153598(A) |
申请公布日期 |
1989.06.15 |
| 申请号 |
JP19870311336 |
申请日期 |
1987.12.09 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAKAGAWA MASAHIRO;TATSUMI MASAMI |
| 分类号 |
C30B15/00;C30B27/02;C30B29/40;H01L21/18 |
主分类号 |
C30B15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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