发明名称 PROTECTION OF MARK
摘要
申请公布号 JPH01258420(A) 申请公布日期 1989.10.16
申请号 JP19880086897 申请日期 1988.04.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NAKAGAWA KATSUNOBU
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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