发明名称 Chip contacts without oxide discontinuities
摘要
申请公布号 US4839715(A) 申请公布日期 1989.06.13
申请号 US19870087478 申请日期 1987.08.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 GAJDA, JOSEPH J.;SRIKRISHNAN, KRIS V.;TOTTA, PAUL A.;TRUDEAU, FRANCIS G.
分类号 H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768;H01L23/485;H01L23/522 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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