| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01149957(A) |
申请公布日期 |
1989.06.13 |
| 申请号 |
JP19870307511 |
申请日期 |
1987.12.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MORIZAKI HIROSHI;HONMA YOSHIO;YOKOYAMA NATSUKI;TSUNEKAWA SUKEYOSHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23F4/00;H01L21/20;H01L21/203 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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