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发明名称 PRESSURE CONTROLLER FOR GAS, SPECIALLY FOR HIGH PURITY GAS
摘要
申请公布号 EP0310105(A3) 申请公布日期 1990.07.18
申请号 EP19880116166 申请日期 1988.09.30
申请人 MESSER GRIESHEIM GMBH 发明人 LINZ, DIETER
分类号 G05D16/06;(IPC1-7):G05D16/06 主分类号 G05D16/06
代理机构 代理人
主权项
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