DRY ETCHING OF ORGANIC FILM,申请号JP19890078210-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	DRY ETCHING OF ORGANIC FILM
摘要
申请公布号	JPH02260423(A)	申请公布日期	1990.10.23
申请号	JP19890078210	申请日期	1989.03.31
申请人	HITACHI LTD	发明人	KAWAKAMI HIROSHI;OKUDAIRA SADAYUKI;TSUJIMOTO KAZUNORI;TAJI SHINICHI;KURE TOKUO
分类号	H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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