发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01149474(A) 申请公布日期 1989.06.12
申请号 JP19870307872 申请日期 1987.12.04
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGAWA KUNI;NOMURA KOJI;TERAUCHI MASAHARU;HARADA YOICHI;NISHITANI MIKIHIKO
分类号 H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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