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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01149476(A) 申请公布日期 1989.06.12
申请号 JP19870309021 申请日期 1987.12.07
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OGAWA KUNI;TERAUCHI MASAHARU;NOMURA KOJI;NISHITANI MIKIHIKO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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