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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM MESSEN VON ELEKTRONEN
摘要
申请公布号 DE3921377(A1) 申请公布日期 1991.01.03
申请号 DE19893921377 申请日期 1989.06.29
申请人 INOTECH AG, WOHLEN, AARGAU, CH 发明人 KUHN, OTHMAR, DR., WOHLEN, AARGAU, CH
分类号 G01T1/17;G01T1/18;H01J47/02 主分类号 G01T1/17
代理机构 代理人
主权项
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