发明名称 HALTEVORRICHTUNG ZUR AUFNAHME VON SCHEIBENFOERMIGEN GEGENSTAENDEN, INSBESONDERE HALBLEITERSCHEIBEN, UND VERFAHREN ZU DEREN BEHANDLUNG
摘要
申请公布号 DE3919611(A1) 申请公布日期 1990.12.20
申请号 DE19893919611 申请日期 1989.06.15
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH, 8263 BURGHAUSEN, DE 发明人 GERBER, HANS-ADOLF, DIPL.-ING. (FH);HOCHGESANG, GEORG, DIPL.-ING. (FH);PARDUBITZKI, ALFRED, DIPL.-ING. (FH), 8263 BURGHAUSEN, DE;SCHMIEDLINDL, MANFRED, 8269 BURGKIRCHEN, DE;ZIPF, WERNER, DIPL.-ING. (FH), 8266 TOEGING, DE;SCHWEIGHOFER, ARTHUR, DIPL.-ING. (FH), 8263 BURGHAUSEN, DE
分类号 H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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