| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUBSTRATE FOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01148787(A) |
申请公布日期 |
1989.06.12 |
| 申请号 |
JP19870308304 |
申请日期 |
1987.12.06 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KOIZUMI TORU;MIZUTANI HIDEMASA;YONEHARA TAKAO;NISHIGAKI YUJI;YAMAGATA KENJI |
| 分类号 |
H01L21/205;C30B25/00;C30B29/06;C30B33/00 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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