发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01147869(A) 申请公布日期 1989.06.09
申请号 JP19870307082 申请日期 1987.12.04
申请人 RICOH CO LTD;RICOH RES INST OF GEN ELECTRON 发明人 WATANABE HIROBUMI;MORI KOJI;ABE SHUYA;NABESHIMA REIKO
分类号 H01L21/225;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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