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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01147851(A) 申请公布日期 1989.06.09
申请号 JP19870307161 申请日期 1987.12.03
申请人 NEC CORP 发明人 NAKAMOTO SATOSHI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04;H03K19/086 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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