INSPECTION METHOD AND APPARATUS BY CORPUSCULAR BEAM,申请号JP19880248917-传众专利搜索

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发明名称	INSPECTION METHOD AND APPARATUS BY CORPUSCULAR BEAM
摘要
申请公布号	JPH01147377(A)	申请公布日期	1989.06.09
申请号	JP19880248917	申请日期	1988.09.29
申请人	SIEMENS AG	发明人	HANSUDETOREFU BURUUSUTO
分类号	G01N23/22;G01Q30/02;G01R19/00;G01R31/302;G01R31/305;H01J37/26;H01J37/28;H01L31/00	主分类号	G01N23/22
代理机构		代理人
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