MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19870306581-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH01146363(A)	申请公布日期	1989.06.08
申请号	JP19870306581	申请日期	1987.12.02
申请人	SHARP CORP	发明人	TSUDA KATSUNORI
分类号	H01L21/266;H01L21/265;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73;(IPC1-7):H01L29/72	主分类号	H01L21/266
代理机构		代理人
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