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发明名称 ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01146238(A) 申请公布日期 1989.06.08
申请号 JP19870303135 申请日期 1987.12.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUZAKA TAKASHI
分类号 H01J37/21;H01J37/141 主分类号 H01J37/21
代理机构 代理人
主权项
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