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发明名称 ADJUSTMENT OF BEAM COMPOSITION ANALYZER FOR NEUTRAL PARTICLE INCIDENCE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01146295(A) 申请公布日期 1989.06.08
申请号 JP19870303147 申请日期 1987.12.02
申请人 HITACHI LTD;JAPAN ATOM ENERGY RES INST 发明人 ISHIKAWA YASUSHI;OKUMURA YOSHIKAZU
分类号 G01N21/62;H05H1/22 主分类号 G01N21/62
代理机构 代理人
主权项
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