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发明名称 SURFACE TREATMENT METHOD FOR PLANE TYPE OBJECT TO BE TREATED
摘要
申请公布号 JPH01146331(A) 申请公布日期 1989.06.08
申请号 JP19870306310 申请日期 1987.12.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MAEDA YORIHISA;SUZUKI TAKASHI
分类号 H01L21/308;H01L21/304 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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