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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN VON MATERIALBAHNEN MIT EINER OFFENEN TIEFENSTRUKTUR
摘要
申请公布号 DE3740483(A1) 申请公布日期 1989.06.08
申请号 DE19873740483 申请日期 1987.11.28
申请人 LEYBOLD AG 发明人 SCHWARZ,WOLFGANG,DR.;KESSLER,HANS;HERKERT,BERNHARDT,DR.
分类号 C23C14/54;C23C14/56 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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