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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01147064(A) 申请公布日期 1989.06.08
申请号 JP19870307262 申请日期 1987.12.03
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 NAKANISHI NOBUNAGA
分类号 C23C14/36;C23C14/35;G11B5/85;G11B5/851;H01L21/203;H01L21/285 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
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